真空設備種類繁多，但無論何種真空設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例說明：一個真空容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個簡單的真空抽氣系統。

　  簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度，當需要獲得高真空范圍內的真空度時，通常在真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空連接管道、真空泵入口放氣閥等，這樣就構成了一個較完善的高真空系統。

　　凡是由兩個以上真空泵串聯組成的真空系統，通常都把抽低真空的泵叫做它上一級高真空泵的前級泵(或稱前置泵)，而***高一級的真空泵叫做該真空系統的主泵，被抽容器中的******真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器出口到主泵入口之間的管路稱為高真空管路，主泵入口處的閥門稱為主閥。

　　通常前級泵又兼作預抽泵。被抽容器到預抽泵之間的管路稱為旁通真空管路，該管路上的閥門稱為旁通真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道，該管路上的閥門稱為前級管道閥，而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設置的。

　　總結來說，一個較完善的真空系統由下列元件組成：

　　1、抽空設備

　　2、真空閥門

　　3、連接管道

　　4、真空測量裝置

　　5、其它輔助元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。

　　那么，究竟什么是真空系統?用一句話來概括，就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽空系統。